浙江青處光電科技有限公司帶你了解，改進思路：消除灰塵源。

改善對策：

1.清潔車間的工作環(huán)境改造嚴格按照清潔車間的規(guī)范進行。

2.盡量做好環(huán)境衛(wèi)生工作。盡量使用干凈的工作臺。

3.真空室周期清潔，保持清潔。

膜外白霧

現(xiàn)象：涂層完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合物擦拭，越嚴重。可以擦掉或減少用氧化鋯粉擦拭(也稱:可擦拭壓克)

分析：膜外白霧的原因比較復雜，可能的原因有：

①膜結(jié)構(gòu)問題：外膜柱狀結(jié)構(gòu)松散，外膜過粗糙；

②蒸發(fā)角過大，膜結(jié)構(gòu)粗糙。

③.溫差：鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大。

④水分；鏡片出罩后放置環(huán)境水分。

⑤真空室Polycold解凍時水蒸氣過重。

⑥蒸鍍充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻。

⑦膜與膜之間的應力。

改進思路：膜外白霧的原因很多，但各有特點，盡量對癥下藥。主要思路是薄膜致密光滑，不易吸附，二是改善環(huán)境，減少吸附對象。

改善對策：

1.改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)

2.降低鏡片溫度(延長真空室冷卻時間)，降低溫差，降低應力。

3.改善充氧(增加)和膜結(jié)構(gòu)。

4.適當降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結(jié)構(gòu)。

5.離子輔助涂層，改善膜結(jié)構(gòu)。

6.加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水蒸氣)

7.想辦法從蒸發(fā)源和夾具上改善蒸發(fā)角。

8.改善基板表面粗糙度。

9.注意polycold解凍時的真空度。

膜內(nèi)白霧

膜內(nèi)形成白霧，不能通過擦拭去除。

可能的原因：

(1).基片臟，附著前工程殘留物。

②.鏡片表面腐蝕污染。

③膜材料與膜材料之間的不匹配。

④.氧化物充氧不足。

⑤.一層氧化鋯膜可能會對某些基板造成白暈。

⑥.基片進罩前(洗凈后)受潮污染。

⑦.清洗或擦拭不良，清洗痕跡，擦拭痕跡。

⑧真空室臟，水氣過重。

⑨.環(huán)境濕度高。