光學鍍膜鏡片,杜絕灰塵源改善對策:
1、工作環境改造潔凈車間,嚴格按潔凈車間規范實施。
2、盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。
3、 真空室周期打掃,保持清潔。
02
膜外白霧
現象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)
分析:膜外白霧的成因較為復雜,可能的成因有:
①、膜結構問題:外層膜的柱狀結構松散,外層膜太粗糙;
②、蒸發角過大,膜結構粗糙。
③、溫差:鏡片出罩時內外溫差過大
④、潮氣;鏡片出罩后擺放環境的潮氣
⑤、真空室內Polycold解凍時水汽過重
⑥、蒸鍍中充氧不完全,膜結構不均勻
⑦、膜與膜之間的應力
改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環境減少吸附的對象。
改善對策:
1、改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環境(干燥、清潔)
2、降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應力。
3、改善充氧(加大),改善膜結構。
4、適當降低蒸發速率,改善柱狀結構
5、離子輔助鍍膜,改善膜結構
6、加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)
7、從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。
8、改善基片表面粗糙度。
9、注意polycold解凍時的真空度。