光學鍍膜鏡片,產生膜內白霧
白霧形成在膜內,無法用擦拭方法祛除。
可能的成因:
①、基片臟,附著前工程的殘留物
②、鏡片表面腐蝕污染
③、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。
④、氧化物充氧不夠。
⑤、一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產生白暈現象
⑥、基片進罩前(洗凈后)受潮氣污染
⑦、洗凈或擦拭不良,洗凈痕跡、擦拭痕跡
⑧、真空室臟、水氣過重
⑨、環境濕度大
改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補,鍍膜本身的可能是膜料匹配問題。
改善對策:
1、改進膜系,層不用氧化鋯。
2、盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在短時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。
3、真空室在更換護板、清潔后,能空罩抽真空烘烤一下,更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。
4、改善環境
5、妥善保護進罩前在傘片上的鏡片,免受污染。
6、改善洗凈、擦拭效果。
7、改善膜匹配(考慮層用Al2O3)
8、改善膜充氧和蒸發速率(降低)
9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。
10、拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質附著干結。